真空干燥機的抽真空系統由真空泵以及他的附屬的設備，真空泵可以是機械真空泵，也可以是蒸汽噴射泵。在用機械真空泵作為真空干燥機的真空泵時，為了能夠達到密度比較高的真空度，一般是采用真空泵組的，與此同時為了防止外界進入的氣體中帶有的水分進入到真空泵內，在真空泵與其他設備之間會裝有一個蒸汽冷凝器和氣水分離器。

真空干燥機的加熱系統會根據熱載體的不同從而改變。熱載體可以是飽和的蒸汽以及過飽和的蒸汽等物料。一般我們采用的是飽和的蒸汽作為用于在真空干燥機進行脫水干燥處理中的熱載體，因為飽和的蒸汽的內部結構比較簡單，不需要別的附屬裝置來進行處理。

真空干燥機干燥的質量比較高，可以在溫度比較低的干燥條件下進行脫水干燥處理，并且適合對易氧化或者熱敏行的物料進行脫水干燥處理。